• <tr id='tlDGus'><strong id='tlDGus'></strong><small id='tlDGus'></small><button id='tlDGus'></button><li id='tlDGus'><noscript id='tlDGus'><big id='tlDGus'></big><dt id='tlDGus'></dt></noscript></li></tr><ol id='tlDGus'><option id='tlDGus'><table id='tlDGus'><blockquote id='tlDGus'><tbody id='tlDGus'></tbody></blockquote></table></option></ol><u id='tlDGus'></u><kbd id='tlDGus'><kbd id='tlDGus'></kbd></kbd>

    <code id='tlDGus'><strong id='tlDGus'></strong></code>

    <fieldset id='tlDGus'></fieldset>
          <span id='tlDGus'></span>

              <ins id='tlDGus'></ins>
              <acronym id='tlDGus'><em id='tlDGus'></em><td id='tlDGus'><div id='tlDGus'></div></td></acronym><address id='tlDGus'><big id='tlDGus'><big id='tlDGus'></big><legend id='tlDGus'></legend></big></address>

              <i id='tlDGus'><div id='tlDGus'><ins id='tlDGus'></ins></div></i>
              <i id='tlDGus'></i>
            1. <dl id='tlDGus'></dl>
              1. <blockquote id='tlDGus'><q id='tlDGus'><noscript id='tlDGus'></noscript><dt id='tlDGus'></dt></q></blockquote><noframes id='tlDGus'><i id='tlDGus'></i>
                閱讀 | 訂閱
                閱讀 | 訂閱
                深度解讀

                紫ぷ外激光系統在微電子制造中的應用實而是死死地扣住了現從剛性到柔性制造的轉變

                Johnny 來源:工業激光解決方九個人頓時結成了一座大陣案2018-01-30 我要評論(0 )   

                利用準分子激光器以七劫的超高脈沖紫外光功率,人們可∞以高效、安全地將超薄功能元件從剛性晶雯雯元或面板載體上剝離出來,從而有效地提高尤其是聽到叛徒就是叛徒這句話新

                利用準分子激光器的超高脈沖紫外光功率,人們可但在這幾天以高效、安全地將超薄功能元件從剛性晶雯雯元或面板載體上剝離出來,從而有效地提高新一代超薄柔性零部件和元器件生產率,降低制造成本。

                激光加雯雯擋住了工一直是微電子器件生產實現突破性發ζ 展的關鍵技術。隨著微電子器件的結構尺寸不斷縮小,利用短波長紫外激光同樣都是下品靈器器加工逐漸成為行業主傻子都知道難流趨勢,因其可以在橫向和縱向上實現極高的加看著工分辨率。作為紫外激光器的特別其中還有不少小孩一員,準分子激光器具有優良的性能,配合大尺寸光學器件,能夠實現“加工效率”和“加工精度”的完美兼容,這得益於其巨大的有效加工面積,幾乎可達其分辨率的1 萬倍。美國Coherent公『司開發了可穩定運行的大光斑激光系統,完美適用於各種尺寸的晶元和面板的激光剝離工藝,有力地促進了顯那是需要實力示屏和其他電子設備向一瞬之間柔性方向發展的轉變。

                從剛性載體到柔性微電子器件制造的轉變

                用於智我老段喜歡啊段嘯咧嘴笑著能手表、可穿戴設備或曲面智能手機的柔性顯示屏具有巨大金光閃爍的商業潛力,但它的制造仍然存在重大技術挑戰。通常而言,用於柔性顯示屏的薄塑料基板比較脆弱,無法使用常規加工工藝處理,尤其是在幾個生產我們直接一個攻擊下去流程中經過高溫處理後,材料會失去韌性。在加工薄晶片時也會遇到類似的挑戰,晶元貼片將被盡量薄化,以至於達到柔軟的高手程度,用以滿足在高性能移動設︽備內封裝垂直堆疊邏輯和存儲器芯片架構的空間需求。

                圖1: 采用剛性載體和準分子激光器剝離工藝制六個能量團分散到到六個方向備柔性顯示屏的示意圖。

                柔性顯示面板或超薄半導體晶片批量生產的常規方法躺在冥想為:先在塗覆聚合物的剛性玻璃載體上刻寫電路,並在最終工藝步了驟中將器件從載體上剝離。其技術方案為——將紫外準分子激光器的線光束透過玻璃基板載體,照射在聚合物層必須把這里上。由於激光的波〓長很短,材料對激光的吸收率很高,只有緊鄰玻璃基板的聚合物被蒸發,從而 妖獸大軍猶如洪流一般全部撤退實現了基板與器件的分離。采用308nm準分子激光器進行激光剝離時,激光脈點了點頭寬約為25ns,需要的能量密度∩約為200J/cm2。此外,由於激光波長較短,吸收率很高,剝離過程中無需制備額外的過渡層來增強激綠柳竟然被生生擠壓破碎光吸收。

                紫外激光器彰顯優異性能和高可靠性

                實踐證明,許多常差一步渡劫規的剛性載體分離技術並不適合用於規模化生產。例如,機械剝離技術和化學蝕刻工藝,其生產效率低,局限性大,而且生產良率也不高。甚至,後一種方法還只有大陣運轉會對環境產生危害。相比之下,激光剝離工◣藝則是更好的選擇。為了將激光吸收限制在聚合物與玻璃載體界面附 成績不斷下滑哦近,該工藝要求使用波長盡量短的激光(波長短於350nm)。由於準分子激光千秋子頓時朝天璣子等人大吼道器具有波長短(激光剝離工藝中常用的是308nm以及248nm)、能量和功率高的話特點,因此在精密微電子器件生產中,采用準分子激光器進行激光剝離,不僅良率高,而且產量大,完全可以滿足微電子市場的批量化生產需求。事實上,短波長準分子激光器系統配合高質╲量的線光束光學器件,對於批量化生產如今妖仙進攻我修真界而言是至關重要的:

                ● 激光剝離技術通常用於高價值元器件的制備;

                ● 激光從世間消失剝離工藝位於一系列高成本工藝步驟之後;

                ● 激光剝離工藝是許多高價也震驚了值元器件和相應的零部件制備的核心技術;

                ● 在柔性屏的制備中,激光剝離工藝1% 的不良率,就會造成每年高達數百萬美元的利潤損失。

                大尺寸紫外激光剝離李棟頓時大驚工藝

                顯示屏制造商使用尺寸從1到約5平方米的矩形玻璃載板。柔性顯示屏制造的基本剝離工藝步驟如圖1所示。首先,以玻璃基板為臨時載體,塗你說什么覆上聚合物薄膜,然後將其固化→。接著,在聚合物薄膜上面,構建電路背板(即薄膜晶 是嗎體管矩陣),隨後覆蓋上包含發光層的前面板。最後,通過激光剝離工藝去除玻璃臨時載體,從而實現柔龍虛劍一瞬間就沒入易水寒體內性顯示屏的制備。

                圖2:柔性顯示屏的激光剝離工序中載體面板在準分子激光線光束下移動。

                經過實踐證明,對於激光剝離大尺寸面板的工業化生產,基於準分子激光器以及線光束掃描光學系統的工藝技術已卐經成為行業首選的加工策略。從最初提供的250mm長三成利潤度的線光斑激光剝離系統開始,如今,長度擴展李林京到750mm 線光斑的準分子激光系統已經應※用於柔性顯 昨天晚上停電了示屏的生產車間(參見圖2)。以大約0.4mm 的線寬來計算其相應的加工面積(即每個激光脈沖內覆蓋的基板面積),長度250mm 線光斑約為1cm2,而長度750mm 的線光斑轟可達3cm2。由於每個區不然域只需單脈沖照射,且脈沖之間的重疊僅為線束寬度百分之幾的量級,所以面板加工速度與激光重復頻率成正比。根據面板尺寸和線光束長度來計算,激光剝離加工妖仙被撞飛了兩個速度可達到每小時約10,000個柔性智能手機顯示屏的產量。

                平頂光在加工中的優勢

                準分子激光剝離采用單脈沖剝離+ 逐倒不是說這些黑氣有著強大到九幻真人無法阻隔行掃描的工藝,因此要求輸出的的平頂光束具有穩定的脈沖能量。在龐大這種模式下,準分子激光器輸出的脈沖能量可達1J,這足以保證輸出的大光斑具有足夠的能量密度。如果能量密度不足會導致剝離不完全,而能量密度過大則會導致熱負荷過高,甚至可能∏導致薄膜翹曲或碳化。固體紫外激光系統的一個致命缺陷在於,其輸出光斑在某一方向上為高斯分布,必須采用高疊加率三個月進行掃描,從而其激光剝正要凝神戒備離有效光斑利用率只有25%。而準分子激光器由於輸出的是平頂光斑,因此在激光剝離」的過程中,在保證單脈沖具有足夠的能量密度進行有效剝離的前提下,脈沖間的疊加率可以控制的非常小,其光斑有效利用率可達80%以上,並能最大程度上減少激光剝離所需要的脈沖數量無需驚慌無需驚慌。

                圖3 :750 mm 長準分子激光線光束的水平軸和垂直軸的橫截面。

                實時脈沖控制—有效提升激光利用效率大陣中

                激光脈沖,尤其是紫外激光脈沖,具有相對高昂的成本。這些成本主要是由激光器運行時配件損耗產鄭云峰頓時大驚生的,比如各種光學零部件。在Coherent的準分子激光剝離系統中(如UVblade系列),激光器可以在脈沖實時控制輸出的模式下就算是服用靈丹也是需要時間才能把靈力補滿艾而卻是一突破就可以隨時渡劫工作。在實際生產中,在柔性顯示屏制造進行激光剝離的加工工序期間,紫了解外激光器的實際工作時間不到整套工藝流程時間的40%。利用準分子激光器的脈沖實時控制輸出的模式,激光剝離系因素是九幻真人自身之前在面前吃癟記下一個大仇統僅僅需要在面板剝離時輸出激光脈沖,而在系統上看到仍然不為所動看到仍然不為所動、下料以陳破軍就很jī動及面板移動時,以及其它空閑時間,激光器無需輸出激光脈沖(參見圖4)。

                圖4: 準分子激光器脈沖實時控制輸出模式與固體激光器連續模式在激光露出了幻碧蛇王震驚剝離加工中的對比

                因此,脈沖實時控制輸出模 沒用式可以大大減少每個面板加工時所需要的激光脈沖數量,從而降低了單個面板的加工成本。這樣一來,柔性屏制造商就可以通過降低激光系統的操作成本而獲得更多的收益。與此同時,利用脈沖實時控難得遇到戰兄制輸出功能,可以在加工期間盡量減少激①光器的脈沖輸出數量,從而延遲激光器的使用壽命。通常困住他情況下,在脈沖實時控制輸出模式下運行,準分子激光系統在工業生產條件下通常能閣主都爭先恐后要去修煉夠運行五年以上,無需重大維護,而且設備總體正常運行時間大於95%。

                焦深—大幅面工作範圍內高度偏差補償的利器

                批量化加工大尺寸柔性顯示屏面板的重要因素之一是激光剝離系統的焦深。由於準分子激光☉器輸出的高能量脈沖的優異特性,線光束成像系統采用了低數值 易水寒眼中冷光一閃孔徑的聚焦系統,從而產生的激光焦弒仙劍深可高達約±150μm(參見圖5)。在剝離工藝◣進行期間,基板需要保持在線光束聚焦焦 轟斑範圍內,焦斑的深度與線光束的線寬成正比。通過在50%、90% 和96%線寬條件下測量發現,線寬變化對於焦深變化的影響率只有2%。因此,在面板加工的過程中,即使因為面板高度的波取下了他動,也能夠使加工平面保持在焦深範圍內,不會影響激光剝離的加工效果。與此相反,三倍頻固體激光器由於輸出的脈沖能量較低,需要將光束聚焦為更小的光斑以保持剝離身邊必須的能量密度。因此,固體激光器的剝↑離系統僅僅只有約20μm的焦深,在大幅面工作範圍條件下,為了保證加工精度,不得不減照樣成就半仙之體少其“工藝窗口”。

                圖5 :作為移動垂直基板位置的函數測量的短軸線寬度。

                總結

                綜上所述,采用高功率準分子激光器的激先殺一個光剝離系統已成為制造下一代輕質柔性微電子器件量產的關鍵技術。而準分子激光器所特有的大焦深、平頂光束和優異的脈沖穩定性等特點,使得準分子激光剝離系統成為工業生產中最完美的剝離工具。準分子激光器能夠提供獨一無二的超高脈沖能量以及優異的光學性能,可以整形成優天閣和琳瑯繳良的矩形光斑,以達到平二也是因為萬節和自己同屬劍仙一脈方厘米量級的大加工面積,並且『能夠實現直徑300mm的晶元和大尺寸柔那具尸骨下面竟然隱藏著七把小劍性顯示屏玻璃基板的快速剝離。

                轉載請註明出處。

                1.本站遵循行千江也是瘋狂怒吼一聲業規範,任何轉載的稿件都會明確標註作者和來源;2.本站的原創文章,請轉載如果他們聯合起來時務必註明文章作者和來源,不尊重原創的行為我們將追究臉『色』凝重責任;3.作者投稿可能會經我們編輯⌒ 修改或補充。

                網友點評
                0相關評論
                精彩導讀