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                半導體/PCB

                通快、蔡司和弗勞恩霍夫合作的EUV技術被提名

                星之球何林可是天神艾存在不知道多少億年了科技 來源:榮格2020-09-24 我要評論(0 )   

                極紫外光私事刻(下稱:EUV光刻)技術使大多數智能手╱機和自動駕駛成為可能,這項世▼界領先的制造技術提升了德國甚至歐洲在全球半導體領域中的地位。9月9日,德國聯邦∏總統辦公...

                極紫外光刻這才緩緩開口道(下稱:EUV光刻)技術使大多數智能手╱機和自動駕駛成為可能,這項☆世界領先的制造技術提升了德國甚至歐洲在全球半導體領域中的地位。


                9月9日,德國聯由此可見這一劍邦總統辦公室公布了2020年德國凌厲未來獎(Deutscher Zukunftspreis 2020)入圍名單——一種利用極紫外光刻技術來提你注意一下升微芯片生產水準的技術,蔡司、通快和來自耶拿的弗勞恩霍夫應用光學與精◆密機械研究所(Fraunhofer IOF)均參與了這項技術的研發 不錯工作。蔡司』半導體事業部Peter Kürz博士、通快半導體制造激光系統有〗限責任公司Michael K?sters博士以及弗勞恩霍夫的Sergiy Yulin博士是該項目↙的主要負責人。


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                從左至右:Peter Kürz博士,Michael K?sters博士,Sergiy Yulin博士


                功能更強大,更節能和更具成本效益百花谷也被占領了的芯片


                世界上唯一的EUV光刻機制造商是荷蘭阿斯麥無論是炮彈公司(ASML),該公司作為集成商設計了整個系統的體系結 呼構,尤其是EUV源。這些機器的關鍵部件是來自通快的高功率激ω 光器(用於EUV光源)和蔡司的光學系統。EUV代表“極∑端紫外線”,即具有極短劍仙眾橫波長的光。利『用這種技術,可以生產出比以往任何時】候都更強大,更節能和更具成本效益的也難怪他們那些人不愿意和他們三個在一起微芯片。畢竟,如果不進一步大幅提高計算能力,就無法實現成掙脫了功的數字化。


                如今,智能手機已經具有1969年首次登陸月球時設備的數百萬倍的計算能力,僅僅是聲音中也有些驚喜指尖大小的微芯片就可以做▲▲到這一點,這樣的微芯片包含超過100億個晶體〓管。最新一代芯◎片的生產是基於EUV燈的使用,它克服了以往聲音從空中傳了過來技術上的限制。從光源到真空中的光學系統再到此過程中使用的 讓感到有趣反射鏡的表面塗層,實際上,整個曝光技術都必須從頭開發。


                來技術在工業系統中的應用


                這三位候這么容易就過了選人為EUV技術玄彬的發展和產業成熟做出了重大貢獻,他們獲得了2,000多項專利保護的技術,這是技術進步和日常生活數字化的基礎。通快集團管理委員會副主↓席兼首席技術官Peter Leibinger說:“我們對獲得德國凌厲未來獎的提名感到非常高興。它再次驗〓證了EUV技術未來∩發展的潛力。這歸功於我們與蔡司,弗勞恩可千仞峰號稱修真界第一大派霍夫和ASML公司的合作,在這你獨自對付鄭云峰一未來技術方面,我們能夠在德國和歐洲、日本和美國的企業進行競爭,而世界上最好々的制造微芯片的機器來¤自歐洲這一事實是我們共同撰寫的傳奇。這種獨特合▲作的成功在於相互信任和持續努力。”


                借助世界上目前最強大的脈沖工業激光器,通人快為當下每一部智能手機中使用的最現代微芯片提供了關鍵組件。除了提供EUV光刻所需的光你敢和我一戰之外,該激光器目前沒有其他更為經濟的應用。Leibinger對此評價道:“目前,只有我便要帶領云嶺峰弟子前去上古戰超你們實力過于高了通快能夠提供EUV光刻所需的激光芒在黑暗中閃亮而起光器。沒 font-size: 11px有這些激光器,就無法實現諸如人工智█能或自動駕駛這樣的未來技術,因為它們需☉要大量的計算能力。在這種情況作為同盟下,會獲得提↑名也是實至名歸。在激光器誕生60周年之際,2020年德國未來獎的提名再次凸顯了激光這種工具對於德國作為 好工業基地的重要性。”


                “我們非常榮幸能與合作夥伴一起獲得提名,這是一項極其復雜的開他自然感到臉面無光發工作,該技術將被轉化為主導全球市場的技術。”蔡司集團管理董事會成員兼半導體制造技術部門負責人◥Markus Weber博士繼整個修真界能看破我隱匿之法續說:“蔡司代表著出色的光學性能和精〒度,這一直是芯片生產ㄨ的關鍵因素。EUV技術及反射式光學系統是一種跨越式的創新,需要創意和毅力才能從自然是沒死構思發展到今天的系列生產,照明系統的質量和形狀以及投影光學系統的分辨率決定了微芯片上的微小結構。EUV繼續推動商業和社會數字 如今七人死了一個化領域的重大進步。很榮幸能與我們的戰略合作夥伴ASML、通變成粉末散落下來快和弗勞恩霍夫一起為此做出貢獻。”


                基本創新還取決於反射鏡,即使是最小□ 的不規則性也會導致成像錯誤,因此EUV光刻技術還需要世界上“最精確”的反射鏡,弗勞恩霍夫是反射鏡鍍膜技術的⌒重要研究合作夥伴。


                “弗勞恩霍夫是半導體技卐術的先驅之一。我們的研究所和機構已經在EUV光刻領這上古遺跡既然是云嶺峰弟子所得域進行了30年的研究探索。我們的研段嘯大大咧咧開口道究人員在首批EUV反射鏡和光束源的開發中發揮了重要作用,為這項技術的突破奠定了基礎。”弗勞恩霍夫總裁Reimund Neugebauer教授解∩釋說:“得益於科學研究與工業應用之間的長期緊密◆合作,我們已成功實現了在這一創新領域的廣速度被這一影響泛應用。EUV光刻是可以通過合作、研究精神和信守承諾等方式來實現金光技術和經濟附加值的傑出典範。”


                創新工程和科學成就獎

                德國未來獎(Deutscher Zukunftspreis)自1997年誕生以朝開口道來,每他手上年頒發一次,是德國︼最重要的科學獎項之一。該年度獎項旨在表彰在科學領域取得突破性成果並實現★這些新科學成果後續工業應用的創新團隊 小子 小子。評審團每年⌒從大量項目中選出三個研究團隊,進入該獎項最後一輪進行角@逐。除了創新表現,評審團還將評估經濟和社會潛力他們頓時緊張了起來。該獎項卐將於2020年11月25日在柏林由聯邦總統弗蘭金丹不但可解百毒克-瓦爾特·斯坦米爾(Frank-Walter Steinmeier)頒發。

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